La proceduro de filtrado de polurlikvaĵo

CMP signifas Kemia Mekanika Polurado. La ekipaĵo kaj konsumaĵoj uzataj en CMP-teknologio inkluzivas: polurmaŝinon, polurpaston, polurkuseneton, post-CMP-purigan ekipaĵon, polurfinan finpunktan detekton kaj procezkontrolan ekipaĵon, rubtraktadon kaj testan ekipaĵon, ktp.

CMP-polura solvaĵo estas speco de altpureca kaj malaltjona metalpolura produkto per speciala procezo de altpureca silicia pulvora krudmaterialo. Ĝi estas vaste uzata en nanoskala altplanariga polurado de diversaj materialoj.

Celo de filtrado:

forigi partiklojn kaj koloidajn malpuraĵojn;

Filtraj postuloj:

1. Malalt-solvebla substanco el filtrilmaterialo, neniu perdo de la materialo

2. Bona kapablo forigi malpuraĵojn, longa utila vivo.

3. Alta flukvanto, alta mekanika forto

Filtrada agordo:

Filtrada Proceduro: